Spectroscopic ellipsometry study of the optical properties of PECVD-grown nanoscale silicon within a silicon nitride matrix
Titre de la revue et éditeur:
EMRS2010 (European Materials Research Society), 7-11 juin à Strasbourg
Type:
Communications orales dans un congrès national ou international
Langue de l'article:
EN
Date:
07/07/2010
Equipe / Pôle de recherche:
Nanomatériaux