Physical properties of nanostructured Si within a SiNx matrix by spectroscopic ellipsometry
Titre de la revue et éditeur:
6th Workshop ellipsometry, 21-24 fevrier 2011, Berlin, Allemagne
Type:
Communications orales dans un congrès national ou international
Langue de l'article:
EN
Date:
21/02/2011
Equipe / Pôle de recherche:
Nanomatériaux