Design of a real-time spectroscopic rotating compensator ellipsometer without systematic errors.
Titre de la revue et éditeur:
(acte de conférence ICSE-VI) - Thin Solid Films.
Type:
Articles répertoriés avec comité de lecture (Actes de conférences précisés)
Etat:
Publiée
Pages:
509-512
Langue de l'article:
EN
N° Volume:
571
N° article:
3
Date:
28/11/2014
Equipe / Pôle de recherche:
Nanomatériaux
Ellipsométrie