Complete Determination of Morphological Properties and Dielectric Function of Au Nanoparticles in Photoresist Films by Ellipsometry
Titre de la revue et éditeur:
7th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE-7), June 06-10, 2016, Berlin
Type:
Communications orales dans un congrès national ou international
Langue de l'article:
EN
Date:
06/06/2016
Equipe / Pôle de recherche:
Ellipsométrie