La Plateforme Ellipsométrie met à disposition un parc d’ellipsomètres de hautes performances.
La Plateforme est ouverte à l’ensemble des communautés scientifiques et industrielles.
La conception modulaire de nos instruments permet de s’adapter à différentes configurations de mesure et de coupler l’ellipsométrie avec d’autres techniques.
Domaine spectral d’étude s’étend de l’Ultra-Violet jusqu’à l’Infra-Rouge lointain (250nm -> 33µm)
Caractérisation de systèmes mono/multicouche, matériaux, substrat, isotrope et anisotrope.
Champs d’applications : semiconducteurs, nanomatériaux, photovoltaique, polymères, métaux, biologie, électrochimie…
Instruments :
- Ellipsomètre spectroscopique UV visible UVISEL HORIBA
- Ellipsomètre spectroscopique à compensateur tournant rapide
- Ellipsomètre spectroscopique à Matrice de Mueller
- Ellipsomètre Infra-Rouge WOOLLAM IR – VASE MARK II
Contact : lcpa2mc-ellipsometrie-contact@univ-lorraine.fr
La plateforme Ellipsométrie est intégrée au programme national PERP Interaction Lumière Matière
Prestations
Nous pouvons analyser vos échantillons sur un domaine spectral étendu UV – IR (250nm –> 33µm) avec ou sans recherche de modèle si vous connaissez précisément leurs structures (substrat, monocouche, multicouche, etc…).
Les possibilités d’analyses sont vastes :
- en un ou plusieurs points (pour vérifier une homogénéité par exemple)
- a un seul angle ou a plusieurs angles d’incidence (pour une plus grande précision)
- sur un domaine spectral réduit ou large
- en température (de -100°C à 350°C).
Nous pouvons déterminer :
- Les indices optiques (n, k) d’un substrat, de systèmes monocouche et multicouche
- l’épaisseur d’une ou plusieurs couches minces (de qq nm à qq µm à +/- 0.1nm)
- la rugosité en surface
- les paramètres physiques comme la fonction diélectrique, la loi de dispersion, etc…
D’autres possibilités peuvent aussi être envisagées comme l’analyse de liquide, l’analyse de matériaux anisotropes, ou encore le suivi d’évolution de surface.
Mise à disposition d’instruments
Si vous êtes coutumier des analyses par ellipsométrie, nous mettons à votre disposition nos instruments pour effectuer vos caractérisations en autonomie.
Après une formation à l’utilisation (obligatoire pour une première utilisation) vous disposerez de l’ellipsomètre UVISEL (Horiba Jobin-Yvon)
ou IR – VASE MARK II (Woollam) le temps nécessaire pour vos mesures.
Développements
En complément des services proposés, nous pouvons réaliser, en collaboration ou partenariat R & D, des études plus complexes en développement instrumental et/ou analyses spécifiques en laboratoire ou sur site par exemple.
N’hésitez pas à nous contacter pour discuter de vos projets !
Contact : lcpa2mc-ellipsometrie-contact@univ-lorraine.fr
Formation
Vous envisagez de suivre une formation en ellipsométrie ?
La plateforme vous propose une formation courte de 2 jours, suivant le descriptif et modalités :
> lien vers le programme de la formation
… ou une formation spécialement adaptée à vos besoins.
Valorisation
Deux nouveaux articles réalisés en collaboration avec nos collègues de l’Institut de Recherche en Science et Ingénierie des Matériaux – Université de Mons (Belgique) et financés par le programme Programme Tournesol Wallonie Bruxelles (PHC Tournesol) Program (46237UL)
https://www.campusfrance.org/fr/tournesol-communaute-francaise
- Real-time spectroscopic ellipsometry of plasmonic nanoparticle growth in polyvinyl alcohol thin films
KFOURY P., BATTIE Y., EN NACIRI A., BROCH L., VOUÉ Michel, CHAOUI N.
Journal of Nanoparticle Research , 26, (2024) 23, https://doi.org/10.1007/s11051-024-05937-0 - Rapid ellipsometric imaging characterization of nanocomposite films with an artificial neural network
KFOURY P., BATTIE Y., EN NACIRI A., VOUÉ Michel, CHAOUI N.
Optics Letters, 49, (2024) 574-577, https://doi.org/10.1364/OL.514616
Ils nous font confiance :
Tarifs & Formulaires
Nos tarifs sont adaptés selon votre profil (EPST LUE, laboratoire de recherche public ou privé, industriels)
Formulaires de demandes :
Vous avez utilisé les services de la plateforme ?
Merci de répondre au questionnaire de satisfaction ICI
Vous avez suivi une formation dispensée par la plateforme ?
Merci de répondre au questionnaire de satisfaction ICI
Contact : lcpa2mc-ellipsometrie-contact@univ-lorraine.fr
Membres permanents
- Yann BATTIE (Professeur)
- Montassar Billeh BOUZOURÂA (Ingénieur d’études)
- Laurent BROCH (Ingénieur de recherche)
- Aotmane EN NACIRI (Professeur)
- Luc JOHANN (Professeur)