Plateforme ellipsométrie : un nouvel ellipsomètre à l’IUT de Forbach
Le Smart SE de HORIBA Scientific est un ellipsomètre spectroscopique polyvalent pour des mesures rapides et précises des couches minces. Il caractérise l’épaisseur des couches minces de quelques angströms à 20 µm, les constantes optiques (n, k) et les propriétés de structure des couches minces (comme la rugosité, les couches optiquement graduées et anisotropes, etc.). La gamme spectrale de 450 à 1000 nm est mesurée en quelques secondes et les données ellipsométriques sont analysées à l’aide de la plateforme logicielle DeltaPsi2. Le logiciel intègre deux niveaux pour réaliser à la fois des analyses de routine avec des recettes prédéfinies et des analyses avancées avec une modélisation ellipsométrique de pointe. L’ellipsomètre Smart SE est un outil de R&D de couches minces sans compromis sur les fonctionnalités, et offre des performances de niveau recherche. Il fournit un système de vision intégré pour un positionnement précis des spots, sept micro-spots automatisés d’une taille allant jusqu’à quelques dizaines de microns pour la mesure de petites caractéristiques et la capacité de mesurer la matrice de Mueller complète de 16 éléments en quelques secondes seulement pour l’étude d’échantillons complexes.
Contact : Laurent BROCH, Plateforme Ellipsométrie