Spectroscopic ellipsometry study of nanostructured Si within a SiNx matrix
Titre de la revue et éditeur:
5th International Conference on Surfaces, Coatings and Nanostructured Materials", NANOSMAT-5, 18-21 October 2010, Reims, France
Type:
Communications orales dans un congrès national ou international
Langue de l'article:
EN
Date:
18/10/2010
Equipe / Pôle de recherche:
Nanomatériaux