Spectroscopic ellipsometry investigation of the optical properties of nanostructured Si/SiNx films
Titre de la revue et éditeur:
Journal of Applied Optics
Type:
Articles répertoriés avec comité de lecture (Actes de conférences précisés)
Etat:
Publiée
Pages:
Langue de l'article:
EN
N° Volume:
107
N° article:
093516
Date:
01/05/2010
Lien doi:
Equipe / Pôle de recherche:
Nanomatériaux