PLATEFORME ELLIPSOMETRIE
La plateforme ellipsométrie est labellisée par la StAR-LUE 3 étoiles
et par le pôle de compétitivité MATERALIA.
Responsable : Laurent BROCH
La Plateforme Ellipsométrie, met à disposition de la communauté scientifique, un parc d’ellipsomètres unique dans le Grand Est de la France. La conception modulaire de nos instruments permet de s’adapter à différentes configurations de mesure et de coupler efficacement l’ellipsométrie avec d’autres techniques pour réaliser des mesures in-situ. Le domaine spectral d’étude s’etend aujourd’hui, de l’UV jusqu’à l’infra-rouge lointain (190nm -> 20µm) permettant ainsi, une large gamme de caractérisation de systèmes mono/multi couche(s) tels que :
- épaisseurs (du nm au µm),
- indices optiques (matériaux isotropes ou anisotropes),
- rugosité de surface,
- caractérisation in-situ et/ou ex-situ,
couvrant ainsi, un large champ d’applications : semiconducteurs, polymères, métaux, biologie, électrochimie…
Nous possédons une gamme d’instrument composée de :
- Ellipsomètre spectroscopique UVISEL, 250nm -> 1,7 µm – Horiba Jobin Yvon
- Ellipsomètre spectroscopique à compensateur tournant rapide, 400 -> 800 nm - RTSRCE
- Ellipsomètre spectroscopique à polariseur tournant, 190 -> 850nm - PRPSE
- Ellipsomètre Infra-Rouge 3 -> 20 µm - FT-IRSE
Découvez les 5 items qui constituent notre coeur de métier :
Contact : lcpa2mc-ellipsometrie-contact@univ-lorraine.fr
